英格蘭 ASCOT 2008年5月21日電 -- 由 Element Six Ltd 研究人員指導(dǎo)、并與斯特拉斯克萊德大學(xué) (University of Strathclyde) Institute of Photonics（光子學(xué)研究所，簡稱 IoP）合作進(jìn)行的 Micromachined Diamond Device Initiative（微機(jī)械金剛石設(shè)備計(jì)劃，簡稱 MIDDI）圓滿結(jié)束。MIDDI 部分資金由英國貿(mào)工部 (UK Department of Trade and Industry) 提供，旨在研發(fā)全球領(lǐng)先的金剛石微電子設(shè)備制造技術(shù)，讓歐洲公司比日本和美國公司更具競爭優(yōu)勢。

MIDDI主要專注于研發(fā)一個擁有先進(jìn)微納米制造技術(shù)的“工具箱”，該技術(shù)以合成單晶金剛石為基礎(chǔ)，可用于新一代高頻、高功率電子設(shè)備的開發(fā)。Element Six 在使用化學(xué)氣相沉積制造電子級合成金剛石領(lǐng)域處于世界領(lǐng)先地位。MIDDI 進(jìn)一步擴(kuò)大了這種領(lǐng)先優(yōu)勢。

斯特拉斯克萊德大學(xué) IoP一直扮演提供等離子體刻蝕技術(shù)專長的角色，該技術(shù)被用于界定設(shè)備制造所要求的精確表面特征。該研究所成立于1995年，已經(jīng)成為刻蝕材料方面的專業(yè)技術(shù)中心，刻蝕材料素來難以加工。材料領(lǐng)域的專長促成了IoP 在半導(dǎo)體光電子學(xué)、固態(tài)激光工程和生物光子學(xué)方面的成功。

IoP 副所長 Martin Dawson 教授評論說：“MIDDI項(xiàng)目展示了英國大學(xué)是如何與工業(yè)領(lǐng)域合作并成功進(jìn)行技術(shù)研發(fā)的。Element Six設(shè)計(jì)了項(xiàng)目的任務(wù)，為先進(jìn)的金剛石結(jié)構(gòu)提供了受控的摻雜特性；學(xué)校通過研發(fā)一種雙方共同擁有專利的創(chuàng)新型干刻蝕方法來完成任務(wù)。這真正打開了生產(chǎn)金剛石電子產(chǎn)品之門，同時(shí)也拓寬了一系列新技術(shù)（包括金剛石光子學(xué)）的更廣泛應(yīng)用，憑借Element Six 的支持，斯特拉斯克萊德大學(xué)如今在該領(lǐng)域擁有非凡的影響力。”

三個領(lǐng)域的成就

該項(xiàng)目已在三個領(lǐng)域取得顯著成就，這將有助于 Element Six 為采用金剛石制造的主動電子設(shè)備的開發(fā)提供支持。首先，擁有原子級低粗糙度表面的基片和外延層生產(chǎn)中所采用的合成和加工技術(shù)得到改善。制造高精度金剛石納米層的能力取決于一系列復(fù)雜的加工和合成步驟。對于一個高頻主動電子設(shè)備來說，某些個別納米層要求厚度為幾納米。此外，這些納米層需要有原子級的平滑度和極度精確的雜質(zhì)分布。

其次，Element Six 現(xiàn)在能夠存放納米級厚度的摻硼金剛石薄層。依據(jù) delta MESFET這樣的金剛石提出來的主動交換設(shè)備概念使用這些夾在兩個未摻雜其他物質(zhì)的原金剛石層之間的薄層來支持晶體管作用。最終 MIDDI得出了一種可再生的全面刻蝕技術(shù)，適用于晶體管設(shè)備制造。

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