權(quán)威解讀國標《光伏單晶硅生長用石英坩堝高純內(nèi)層砂》
發(fā)布時間:2025-08-07 07:24:32 編輯:石材網(wǎng)
石英坩堝的構(gòu)造分為不透明層、真空透明層及內(nèi)涂層,其中,內(nèi)涂層通常由高純合成石英砂、高純天然石英砂制成,對內(nèi)涂層的石英砂的原料成分要求較高,石英砂雜質(zhì)元素含量直接決定了石英坩堝的拉晶質(zhì)量。
國家標準GB/T 45823-2025《光伏單晶硅生長用石英坩堝高純內(nèi)層砂》規(guī)定了光伏單晶硅生長用石英坩堝高純內(nèi)層砂的要求、檢驗規(guī)則及標志、包裝、運輸和貯存,描述了相應試驗方法。
該標準適用于光伏單晶硅生長用石英坩堝生產(chǎn)時內(nèi)層用高純石英砂的生產(chǎn)、檢驗、交付和驗收。包括以天然石英礦石或水晶等為原料,通過加工、提純等生產(chǎn)工藝制備的天然石英砂,以及以高純含硅物質(zhì)為原料,采用物理、化學方法制備的合成石英砂。
1、外觀:石英砂應無肉眼可見的不同于基質(zhì)的顆粒物
外觀是初步判斷石英砂質(zhì)量的最直觀的檢驗方法,雜點、色點多的石英砂通常情況下雜質(zhì)元素含量較高,所以對外觀做了要求。
2、粒度:供需雙方商定
驗證樣品試驗結(jié)果差異較大,且都是用戶正常使用的產(chǎn)品,粒度較小的細沙D50約為150微米,粒度較大的粗砂D50約為250微米,無法統(tǒng)一技術(shù)指標,所以確定為供需雙方商定。
3、粒形:費雷特直徑大于50μm的石英砂顆粒中,費雷特最大直徑與費雷特最小直徑之比大于2:1的顆粒數(shù)應不大于5.0%。
光伏單晶硅生長用石英坩堝內(nèi)層砂粒形的影響主要體現(xiàn)在以下幾個方面:
(1)坩堝強度和壽命:石英砂的粒形影響其堆積密度和顆粒間的接觸面積,這直接關(guān)系到石英坩堝的強度和高溫下的穩(wěn)定性。粒形均勻、大小適中的石英砂能夠提高石英坩堝的機械強度,減少在高溫下的形變和破裂風險,從而延長坩堝的使用壽命。
(2)單晶硅生長質(zhì)量:石英砂的粒形影響坩堝內(nèi)壁的光滑度和均勻性,這直接關(guān)系到單晶硅生長的質(zhì)量。粒形均勻的石英砂有助于形成光滑的坩堝內(nèi)壁,減少晶體生長過程中的缺陷,提高單晶硅的品質(zhì)。
(3)氣泡和氣液包裹體:石英砂中的氣泡和氣液包裹體含量會影響石英坩堝在高溫下的性能。粒形均勻的石英砂有助于減少氣泡和氣液包裹體的含量,從而減少在單晶硅生長過程中氣泡破裂釋放的微顆粒和氣體,避免對硅熔體造成污染。
(4)雜質(zhì)元素含量:石英砂的粒形也會影響其純度,因為不同粒形的石英砂在提純過程中的效率可能不同。粒形均勻的石英砂更容易進行提純,減少雜質(zhì)含量,這對于保證單晶硅的純度至關(guān)重要。
(5)羥基含量:石英砂中的羥基含量會影響石英坩堝的耐高溫性能。粒形均勻的石英砂可以通過優(yōu)化的工藝路線減少羥基含量,提高坩堝的耐高溫性能,減少在高溫下的軟化和變形。
(6)坩堝的均勻性和一致性:粒形一致的石英砂有助于制造出均勻性和一致性更好的石英坩堝,這對于保證單晶硅生長過程中的溫度和速度控制至關(guān)重要,直接影響到單晶硅的質(zhì)量和產(chǎn)量。
所以,標準文件對粒形限定具有重要意義。
4、燒失量:應不大于0.02%
燒失量是衡量石英砂中吸附水、碳酸鹽、有機物以及其他易揮發(fā)性物質(zhì)含量的重要指標。通過測定燒失量,可以評估石英砂的純度和質(zhì)量,確保其滿足石英坩堝正常生產(chǎn)應用的需求。
光伏單晶硅生長用石英坩堝內(nèi)層砂燒失量過高,氣液包裹體含量高,會導致石英坩堝內(nèi)壁產(chǎn)生氣泡、雜質(zhì)等缺陷,除了影響坩堝的使用壽命,還會增加單晶硅生產(chǎn)的材料成本和加工成本,內(nèi)壁氣泡在高溫下會導致氣體和雜質(zhì)從坩堝內(nèi)釋放到熔體中,擾亂單晶硅的生長過程,影響晶體的純度和質(zhì)量,氣泡有可能導致硅棒出現(xiàn)“斷線”問題,增加硅棒的缺陷,從而降低單晶硅的成晶率。所以,需要對燒失量進行限定。
5、雜質(zhì)元素含量:17種雜質(zhì)元素總含量應≤20μg/g,其中,鋰、鈉、鉀總和應不大于1.5μg/g;標準還對各單元素雜質(zhì)含量也做了限定。
光伏單晶硅生長用石英坩堝內(nèi)層砂雜質(zhì)元素含量過高,會產(chǎn)生很多危害,具體有:
(1)影響石英坩堝的熱學特性:堿金屬雜質(zhì)如Li、Na、K等會影響石英坩堝的耐溫性,降低其熔點,導致高溫性能變差。
(2)石英坩堝內(nèi)壁會產(chǎn)生氣泡和色斑等缺陷:雜質(zhì)含量高會導致石英坩堝產(chǎn)生氣泡和色斑等缺陷,降低石英坩堝的透明度。
(3)影響石英坩堝成型:雜質(zhì)含量過高,嚴重時還會影響石英坩堝的成型過程。
(4)產(chǎn)生析晶:如果石英坩堝內(nèi)表面雜質(zhì)含較高,會形成異常的破壞性析晶,產(chǎn)生的顆粒進入硅液中也會產(chǎn)生嚴重的斷線,如果析晶靠近內(nèi)表面,局部的析晶殼層過厚則極易脫落,甚至導致單晶拉制無法繼續(xù)。
(5)石英坩堝內(nèi)壁易形成腐蝕坑和漏硅風險:如果雜質(zhì)濃度更高,會形成一個腐蝕坑,硅液會順著坑和縫隙不斷向外腐蝕,最終產(chǎn)生漏硅的風險。
(6)影響單晶硅棒的性能和質(zhì)量:石英坩堝內(nèi)表層的雜質(zhì)會擴散到硅液中,進而影響到單晶硅棒的導電性。
(7)增加生產(chǎn)成本:由于單晶硅片對純度要求高,且單次拉晶成本較高,石英坩堝的質(zhì)量問題會造成單根單晶硅棒報廢,增加生產(chǎn)成本。因此,控制石英坩堝內(nèi)層砂的雜質(zhì)元素含量對于保證單晶硅生長的質(zhì)量、降低生產(chǎn)成本至關(guān)重要。
6、二氧化硅含量(減量法):應不小于99.9980%
石英砂的二氧化硅含量是一個綜合性的質(zhì)量指標,它能夠更全面地反映石英砂的質(zhì)量和適用性,在石英行業(yè)中被廣泛用作表征石英砂質(zhì)量的主要參數(shù)。
光伏單晶硅生長用石英坩堝內(nèi)層砂二氧化硅含量高,雜質(zhì)元素含量少,是保證石英坩堝質(zhì)量穩(wěn)定性以及坩堝使用壽命的重要因素,也是確保單晶硅生長質(zhì)量、提高生產(chǎn)效率和降低成本的關(guān)鍵因素。因此,規(guī)定光伏單晶硅生長用石英坩堝內(nèi)層砂二氧化硅含量應不小于99.9980%。
本標準的制定填補了石英行業(yè)空白,改變光伏單晶硅生長用石英坩堝高純內(nèi)層砂無標準可依的現(xiàn)狀,對產(chǎn)品的生產(chǎn)和市場規(guī)范起到指導作用。
該標準由中國國檢測試控股集團股份有限公司、江蘇太平洋石英股份有限公司、中建材衢州金格蘭石英有限公司、內(nèi)蒙古歐晶科技股份有限公司、長飛石英技術(shù)(武漢)有限公司、湖北菲利華石英玻璃股份有限公司、廊坊赫爾勞斯太陽能光伏有限公司、北京石晶光電科技股份有限公司、超純礦物新材料產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院、中研顆精密機械(蘇州)有限公司、中國建筑材料科學研究總院有限公司、遼寧漢京半導體材料有限公司、江蘇風日石英科技有限公司、中材江蘇太陽能新材料有限公司、西安圣寶鴻新材料科技有限公司、江蘇復高新材料科技有限公司、湖北中譽新材料有限公司、湖北菲利華融鑒科技有限公司、江蘇沃宏裝備有限公司、湖北溥源石英科技有限公司、臨沂坤盛新材料科技有限公司、玖曦硅業(yè)新材料(滁州)有限公司、酒泉恒瑞新石英材料有限公司、蒲城特萊晶科技有限責任公司、安徽壹石通材料科技股份有限公司、安徽威克特瑞新材料科技有限公司、安徽石圭新材料科技發(fā)展有限公司、中南大學、河南協(xié)鑫硅基新材料有限公司、河南省億焰新材料有限公司、湖北鑫陽半導體科技有限公司、中旗(湖北)新材料有限公司、江蘇君格志成科技有限公司、河北越界半導體材料科技有限公司、安徽煥宸光電科技有限公司、久智光電子材料科技有限公司、北京亞澤石英材料有限公司、武漢理工大學、中國科學院合肥物質(zhì)科學研究院等單位負責起草。本標準將于2025年12月1日正式實施。
資料來源:國檢集團
來源:粉體技術(shù)網(wǎng)
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