近日，在沈陽經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)開發(fā)二十六號路，占地面積9.6萬平方米的漢京半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)基地已展露形象。嶄新的石英廠房、碳化硅廠房、研發(fā)中心、員工宿舍等單體建筑整齊列陣，蔚為壯觀。

來源：中新網(wǎng)

據(jù)悉，漢京半導(dǎo)體基地項目總投資10億元，主要生產(chǎn)集成電路產(chǎn)業(yè)專用材料及設(shè)備，包括石英、陶瓷、爐管碳化硅零部件、半導(dǎo)體設(shè)備先進(jìn)零部件的開發(fā)等。據(jù)該項目環(huán)評報告顯示，項目主要建設(shè)內(nèi)容為新建石英工廠、陶瓷工廠、研發(fā)工廠、宿舍樓、動力中心、倉庫、門衛(wèi)室、氫氣站、氧氣站以及氬氣站等。項目建成后產(chǎn)品產(chǎn)量為陶瓷工廠碳化硅立式管700件/年、碳化硅立式舟1320件/年、碳化硅保溫桶1800件/年、碳化硅雜件5000件/年；石英工廠石英管3600件/a、石英舟1200t/a、石英保溫桶1200件/a、石英雜件24000件/a；研發(fā)工廠碳化硅雜件600 件/a。

石英制品

作為半導(dǎo)體工業(yè)不可或缺的關(guān)鍵耗材，高純石英及其制品貫穿了半導(dǎo)體生產(chǎn)全過程，是確保產(chǎn)品質(zhì)量與性能穩(wěn)定性的核心要素。石英玻璃材料及制品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片制程中，是半導(dǎo)體蝕刻、擴散、氧化等工序所需的承載器件與腔體耗材。在半導(dǎo)體集成電路與芯片制造中，石英坩堝、石英管、石英舟、石英支架等各種配件是難以替代的關(guān)鍵材料和制品，涉及半導(dǎo)體晶圓制造的大部分流程。石英制品在使用過程中直接與硅片或晶圓接觸，其性能好壞對下游產(chǎn)品的良品率高低將造成直接影響。

來源：漢京半導(dǎo)體官網(wǎng)

據(jù)漢京半導(dǎo)體企業(yè)負(fù)責(zé)人介紹，新廠將建成全球半導(dǎo)體石英精密度較高的生產(chǎn)線，也是國內(nèi)第一條極高純石英生產(chǎn)線，其對應(yīng)的是10納米以下工藝的先進(jìn)制程。未來，芯片龍頭企業(yè)將會應(yīng)用到這些產(chǎn)品。

碳化硅

碳化硅零部件，即以碳化硅及其復(fù)合材料為主要材料的設(shè)備零部件，被廣泛應(yīng)用于外延生長、等離子體刻蝕、快速熱處理、薄膜沉積、氧化/擴散、離子注入等主要半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)的設(shè)備中。

來源：漢京半導(dǎo)體官網(wǎng)

漢京半導(dǎo)體稱，目前，全球能生產(chǎn)爐管碳化硅零部件的企業(yè)不多，產(chǎn)品交付周期在36個月左右，漢京半導(dǎo)體半導(dǎo)體爐管碳化硅零部件生產(chǎn)線投產(chǎn)后，產(chǎn)品交付周期預(yù)計從36個月縮短至12個月，極大緩解行業(yè)面臨的長交期困境。

遼寧漢京半導(dǎo)體材料有限公司起源于2006年，是一家集精加工生產(chǎn)、檢驗、銷售為一體的高新技術(shù)企業(yè)。主營多種工業(yè)陶瓷產(chǎn)品及半導(dǎo)體、光伏新能源行業(yè)石英制品。漢京半導(dǎo)體新廠的研發(fā)中心將專注于半導(dǎo)體設(shè)備先進(jìn)零部件的開發(fā)，以期盡快取得技術(shù)突破，助力我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)延鏈補鏈強鏈。

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